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電子半導體行業為什么要使用超純水設備?

發布時間:2020-08-11
    在電子半導體行業電子管的生產中,電子管陰極會涂覆碳酸鹽。如果使用的水中混入雜質,就會影響電子的發射,進而影響電子管的放大性能及壽命,因此在電子半導體行業對用水的要求是很高的。在電器行業當中容易出現的危險就是漏電,工業上是少不了電器電容的,如果用水中含有了氯離子,電容器則會出現漏電的情況。所以在電子半導體行業需要使用超純水設備來制取生產用水。

    在顯像管和陰極射線管的生產中,熒光屏內壁采用噴涂或沉淀的方法涂上一層熒光材料。它是由鋅或其他金屬硫化物組成的熒光粉顆粒,與硅酸鉀粘結而成。配置需要使用超純水。鐵含量在50ppb以上會使顏色變淺、變暗、閃光,并會產生氣泡、條紋、漏光點等廢品。

    在黑白顯像管熒光屏生產的12道工序中,外殼清洗、沉淀、潤濕、洗膜、管頸清洗5道工序均采用純水,每只晶體管需要80公斤高純水。液晶顯示器的屏幕表面需要用純水清洗并與純水混合。如果純水中含有金屬離子、微生物、顆粒等雜質,液晶顯示電路會出現故障,影響液晶顯示器的質量,導致廢品和次品

    在晶體管、集成電路生產中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路的產品質量及生產成品率關系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,B、AL、Ga等會使N型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。

    以上可以看出電子半導體行業大多是需要用到超純水設備的,設備制取的超純水中不含這些雜質,微生物,金屬離子等。電阻率可達18兆歐,純度很高,所以可以滿足這個行業的用水要求。
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